Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Phoenix ALD – VEECO
Hệ thống Phoenix® được thiết kế để có thông lượng cao và thời gian hoạt động tối đa trong bất kỳ môi trường chế tạo nào, từ sản xuất thí điểm đến sản xuất cấp công nghiệp. Các nhà công nghệ và nhà nghiên cứu dựa vào Phoenix® để lắng đọng màng có độ chính xác cao, có thể lặp lại trên các chất nền phẳng và 3D như nhau. Và với sự hỗ trợ cho tối đa sáu dòng tiền chất riêng lẻ, Phoenix® cung cấp các hóa chất xử lý ở thể rắn, lỏng hoặc khí tùy thuộc vào nhu cầu màng mỏng của bạn. Diện tích nhỏ gọn và thiết kế sáng tạo làm cho Phoenix® trở thành lựa chọn thiết thực cho những người có yêu cầu ALD sản xuất hàng loạt.
Phoenix ALD – VEECO
- Kiểm soát phần mềm chính xác các thông số quy trình, bao gồm nhiệt độ, lưu lượng và áp suất, cho lớp phủ không trên cả những chất nền nhạy cảm nhất
- Bẫy hơi ALD Shield™ đã được cấp bằng sáng chế để ngăn chặn sự tích tụ cặn lắng và giảm thiểu lượng khí quá trình dư thừa thoát ra môi trường
- Buồng xử lý lớn chấp nhận chất nền GEN 2.5, nhiều băng cassette wafer và các đối tượng 3D lớn hơn
- Chi phí sở hữu thấp với chi phí khởi động và vận hành tối thiểu
- Tuân thủ CE, FCC và CSA với nhiều tính năng an toàn tích hợp.
Thông số kỹ thuật hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Phoenix ALD – VEECO
| Kích thước chất nền | Lên đến 370 mm x 470 mm (Bảng điều khiển Gen 2.5) Lên đến 360 tấm wafer – 100 mm (cassette) Lên đến 160 tấm wafer – 150 mm (cassette) Lên đến 100 tấm wafer – 200 mm (cassette) Lên đến 40 tấm wafer – 300 mm ( băng cassette) Giá đỡ tùy chỉnh cho các đối tượng 3D |
| Kích thước (Rộng x Dài x Cao) | 900 mm x 1370 mm x 1700 mm |
| Tủ | Tủ thông gió có phát hiện khói |
| Nguồn điện | 208 VAC 3 Pha, 8500 W (không bao gồm máy bơm) |
| Điều khiển | Máy tính Windows™ |
| Nhiệt độ bề mặt | Lên đến 285º C |
| Tính đồng nhất lắng đọng (AI 2 0 3 ) | ≤2% |
| Bơm chân không | Bơm khô ≥350 CFM |
| Khả năng tương thích | tương thích phòng sạch |
| Hệ thống phân phối tiền thân | 4 dòng tiêu chuẩn chứa tiền chất rắn, lỏng và khí Các dòng được làm nóng độc lập lên đến 200°C |
| Van | Van ALD tốc độ cao |
| Xi lanh tiền chất | xi lanh 3,1 l hoặc 600ml |
| Chất mang/Thông khí | Điều khiển luồng N 2 hoặc Ar MFC |
| Thể tích buồng (L x W x H) | (50cm, 40cm,24cm) |
Sản phẩm được nhập khẩu và phân phối chính hãng tại Việt Nam. Mọi chi tiết về sản phẩm vui lòng liên hệ Sđt/Zalo: 0969.178.792
Xem thêm.
Máy phân tích carbon hữu cơ (TOC), Nitơ (TN) FORMAC Skalar.
Related Posts:
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.