Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Savannah – Thermal ALD
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử ALD (Savannah®, Fiji® và Phoenix® Firebird™) để phủ một lớp mỏng đồng nhất với độ dày mỏng nhất cho các màng film chất lượng cao, trang sức hoặc các linh kiện trong công nghiệp điện tử bán dẫn.
Các thiết bị phân tích và nghiên cứu vật liệu dùng trong các lĩnh vực khai khoáng, vật liệu mới, đồ tiêu dùng, các trung tâm nghiên cứu, các trường đại học, Hải quan, năng lượng mới..
Savannah – ALD nhiệt cho R&D.
Veeco là nhà cung cấp hàng đầu các hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) cho nghiên cứu và công nghiệp trên toàn thế giới, cung cấp các dịch vụ toàn diện và các hệ thống chìa khóa trao tay linh hoạt, dễ tiếp cận, giá cả phải chăng và chính xác ở cấp độ nguyên tử. Lắng đọng màng mỏng là chuyên môn của chúng tôi. Dòng công cụ lắng đọng màng mỏng Savannah® của chúng tôi minh họa cho những khả năng này.
Savannah® đã trở thành hệ thống ưa thích cho các nhà nghiên cứu đại học trên toàn thế giới tham gia vào ALD và đang tìm kiếm một nền tảng mạnh mẽ nhưng giá cả phải chăng. Chúng tôi đã cung cấp hàng trăm hệ thống này trong thập kỷ qua. Việc sử dụng hiệu quả tiền chất và các tính năng tiết kiệm năng lượng của Savannah® giúp giảm đáng kể chi phí vận hành hệ thống lắng đọng màng mỏng.
Savannah – ALD nhiệt cho R&D.
- Phép đo hình elip trong tình huống
- QCM tại chỗ
- Đơn lớp tự lắp ráp
- Thời gian chu kỳ 2 giây
- Ozone tích hợp
- Lắng đọng áp suất hơi thấp
- Xử lý hàng loạt
- Tích hợp hộp đựng găng tay
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử ALD.
Savannah® được trang bị van xung khí nén tốc độ cao để kích hoạt chế độ phơi sáng™ độc đáo của chúng tôi để lắng đọng màng mỏng trên chất nền có tỷ lệ khung hình siêu cao. Phương pháp phủ màng mỏng chính xác đã được chứng minh này có thể được sử dụng để lắng đọng các màng đồng nhất, phù hợp trên các chất nền có tỷ lệ khung hình lớn hơn > 2000:1. Savannah® có ba cấu hình: S100, S200 và S300. Savannah® có khả năng giữ các chất nền có kích thước khác nhau (lên đến 300mm đối với S300). Các hệ thống lắng đọng màng mỏng Savannah® được trang bị các dòng tiền chất được gia nhiệt và tùy chọn thêm tối đa sáu dòng. Savannah® có khả năng xử lý các tiền chất khí, lỏng hoặc rắn.
Savannah® G2 Thông số kỹ thuật
| Kích thước chất nền | Savannah S100: lên đến 100 mm Savannah® S200: lên đến 200 mm Savannah® S300: lên đến 300 mm |
| Kích thước (wxdxh) | Savannah S100: 585 x 560 x 980 mm Savannah® S200: 585 x 560 x 980 mm Savannah® S300: 686 x 560 x 980 mm |
| Tủ | Thép sơn tĩnh điện màu trắng với các tấm có thể tháo rời và cửa tiền thân có thể khóa được |
| Chế độ hoạt động | Chế độ liên tục™ (tốc độ cao) hoặc Chế độ phơi sáng™ (tỷ lệ khung hình cực cao) |
| Nguồn điện | 220 VAC, 1500 W (không bao gồm máy bơm) |
| Điều khiển | LabVIEW™, Windows™ 7, Máy tính xách tay Lenovo, Điều khiển USB |
| Nhiệt độ bề mặt tối đa | S100: RT – 400 °C S200: RT – 350 °C S300: RT – 350 °C |
| Lắng đọng đồng nhất | (Al 2 O 3 ) <1% (1σ) |
| Thời gian chu kỳ | <2 giây mỗi chu kỳ với Al 2 O 3 ở 200 °C |
| Bơm chân không | Alcatel 2021C2 – 14.6 CFM |
| Khả năng tương thích | Tương thích phòng sạch lớp 100 |
| Sự tuân thủ | CE, TUV, FCC |
| Hệ thống phân phối tiền thân, cổng | Tiêu chuẩn 2 dòng, có sẵn tối đa 6 dòng Mỗi dòng chứa tiền chất rắn, lỏng và khí Các dòng có thể được làm nóng độc lập lên đến 200 °C |
| Hệ thống phân phối tiền chất, van | Van ALD tốc độ cao tiêu chuẩn công nghiệp với thời gian phản hồi 10 mili giây |
| Xi lanh tiền chất | Xi lanh thép không gỉ 50 ml được làm nóng riêng, có sẵn xi lanh lớn hơn tùy chọn |
| Chất mang/Thông khí | Kiểm soát lưu lượng khối lượng N 2 , 100 SCCM |
| Tùy chọn | Hệ thống phân phối áp suất hơi thấp (LVPD) Máy tạo Ozone Nắp vòm cho băng cassette wafer hoặc vật thể 3D Hộp găng tay Giao diện In-Situ Ellipsometry In-Situ Tinh thể thạch anh MicroBalance (QCM) Lớp đơn lớp tự lắp ráp (SAM) Lớp phủ hạt |
Sản phẩm được nhập khẩu và phân phối chính hãng tại Việt Nam. Mọi chi tiết về sản phẩm vui lòng liên hệ Sđt/Zalo: 0969.178.792
Xem thêm.
Máy phân tích Protein NDA 702 DUMAS VELP.
Related Posts:
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.