Hệ thống lắng đọng hơi vật lý NEXUS PVDi.

Hệ thống lắng đọng hơi vật lý NEXUS PVDi mục tiêu đơn của Veeco mang đến sự linh hoạt tối đa cho nhiều ứng dụng lắng đọng màng mỏng. NEXUS PVD có khả năng 200mm và có khả năng xử lý tiên tiến, tính đồng nhất vượt trội và nhiều chế độ lắng đọng.

Độ tin cậy và tính đồng nhất vượt trội giúp tăng năng suất quy trình
Thông lượng và thời gian hoạt động cao hơn với chi phí sở hữu thấp hơn
Nền tảng NEXUS tích hợp với nhiều công nghệ Veeco, chẳng hạn như lắng đọng chùm ion, khắc chùm ion và lắng đọng lớp nguyên tử