Hệ thống phun xạ chùm tia ion SPECTOR-HT Veeco phủ lớp quang học.

Sản xuất màng mỏng quang học chất lượng cao nhất với mức năng suất và thông lượng được cải thiện với Hệ thống phún xạ chùm tia ion tiên tiến SPECTOR-HT™ từng đoạt giải thưởng. Dựa trên hiệu suất đã được chứng minh của dòng hệ thống chùm tia ion SPECTOR® của chúng tôi, hệ thống SPECTOR-HT cung cấp khả năng kiểm soát độ dày lớp tuyệt vời, tăng cường độ ổn định của quy trình và tổn thất quang học được công bố thấp nhất trong ngành.

Đối với các ứng dụng lớp phủ giao thoa quang tiên tiến, từ bộ lọc thông dải đến bộ tách chùm tia laser thụ động, SPECTOR-HT đã được thiết kế để cải thiện các thông số sản xuất chính, chẳng hạn như sử dụng vật liệu mục tiêu, kiểm soát điểm cuối quang học và thời gian xử lý. SPECTOR-HT mang đến cho các nhà sản xuất những lợi thế về chất lượng của công nghệ phún xạ chùm tia ion (IBS)—tổn thất tán xạ thấp, độ tinh khiết của màng cao, tốc độ lắng đọng ổn định và kiểm soát độ dày màng <0,1nm—trong một gói mạnh mẽ hơn giúp tăng đáng kể thông lượng và giảm chi phí của quyền sở hữu.

Hệ thống phun xạ chùm tia ion SPECTOR-HT Veeco

Tăng thông lượng hệ thống lên tới 400 phần trăm thông qua cải thiện tỷ lệ ký gửi và tăng kích thước lô
Cải thiện việc sử dụng vật liệu, tăng tới 300 phần trăm trong việc sử dụng vật liệu mục tiêu, giảm bảo trì và cải thiện tổng chi phí sở hữu
Hình học công cụ được tối ưu hóa về tính đồng nhất của màng mỏng nâng cao kết hợp với các ưu điểm của công nghệ xử lý IBS vốn có để mang lại tính đồng nhất vật liệu tốt hơn 50%
Được thiết kế cho tính linh hoạt của quy trình, SPECTOR-HT cải thiện tính linh hoạt của quy trình theo nhiều cách: hệ thống kiểm soát quy trình thế hệ mới nhất của chúng tôi thân thiện với người vận hành, kích thước lô mở rộng cho phép có nhiều lựa chọn quy trình hơn và tỷ lệ lắng đọng ổn định cho phép vận hành hệ thống không cần giám sát
Giành giải thưởng R&D 100 uy tín năm 2013